한국폴리텍대학 전국 캠퍼스 안내
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반도체융합캠퍼스 본문
작업실현황
장비보유내역
| 실습실 | 장비명 | 규격 | 비고 |
|---|---|---|---|
| 기구설계 PART |
ASHER 장비 | TERA21, PSK 12“ wafer, 890*1900 |
|
| 핸들러 장비 | HW232/M620 9000*2500 |
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| 전장설계 PART |
Power Distributor |
400-350A, W/NCT | |
| ASHER 장비 | DAS2000, PSK 8“ wafer, micorowave type |
||
| 품질측정 PART |
3차원측정기(Contura G2_Zeiss) | 600*600*500, 0.1 um | |
| 3차원측정기(Sigma_Dukin) | 500*500*500, 0.1 um | ||
| 3차원측정기(Champ_Dukin) | 420*420*320, 0.1 um | ||
| 3차원측정용 PC 및 시뮬레이션 (30대) | Neuro Measure, Calypso |
||
| 압력교정기 | 3.5 MPa, Accu 0.015 % | ||
| 실하중 힘 표준기 | 510 kgf, 0.01 kgf | ||
| 유량 측정기 | Max 25 m3/h, 25 A | ||
| 온도교정기 | -25 ℃ ~ 140 ℃, 0.01 ℃ | ||
| 전자식 저울 | 2000 g, 0.1 mg | ||
| 토크교정기 | 300 Nm, 0.01 Nm, 220 V | ||
| 제어SW PART |
반도체장비제어실습장비Pro | 센서제어, 모터제어 PLC제어, 압력제어 로봇제어 |
|
| 반도체장비제어실습장비 | 센서제어, 모터제어 PLC제어, 압력제어 |
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| 실습용 PC | I7 9700이상/32GB이상 NVIDIA GTX1660 6GB 이상 SSD 500GB/2TB이상 MS Windows 10 Pro |
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| SW품질센터 | 정적분석도구 | CodeScroll STATIC | |
| 커버리지 측정도구 | QualityScroll COVER | ||
| 단위/통합테스트 도구 | CodeScroll Controller Tester | ||
| GUI기반 동적시험 도구 | Ranorex Studio |